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                  產品詳情
                  • 產品名稱:高效柜式微波等離子系統

                  • 產品型號:MWD 70
                  • 產品廠商:中科光智
                  • 產品文檔:
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                  簡單介紹:
                  結構型設計 適用于批量生產 具有專業的PLC 控制系統和windows控制 可選微波源頂裝或側裝 可選基片盤旋轉、水冷、升降功能
                  詳情介紹:


                  簡單介紹

                  產品簡介


                  全功能型立柜系統:適用于批量生產,PLC 圖形化觸控操作系統

                  配置選項

                  ?真空系統                                ?額外工藝氣路
                  ?物料工件旋轉臺                      ?清洗擱架
                  ?頂/側裝微波源                       ?軟啟動和慢速充氣

                  ?法拉第網                                ?推拉門/鉸鏈門

                  產品特點

                  ?無損傷等離子清洗                  ?清洗溫度低

                  ?無電極濺射污染                      ?可清洗細小孔洞和縫隙

                  ?易于操作的圖形化界面

                  技術參數

                  外形尺寸 :             W860 x H1860 x D950 mm 

                  腔體內部尺寸:       W425 x H365 x D465mm

                  微波功率:              2.45 GHz,100-1000W 可調

                  工藝氣路:              標準2 路,包括質量流量計和控制電磁閥等

                  真空接口:            DN40 KF

                  電源:                    380V, 50 / 60 Hz  4.3KW 含真空泵

                  控制單元:           觸摸屏PLC控制

                  真空規:                Pirani真空計或電容式薄膜壓力規

                  主要應用:          材料表面有機污染物去除、表面活性增強及氧化物還原


                  產品詳情














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